真空泵的种类及其工作范围

摘要：真空泵工作范围(托)旋片真空泵760~5×10-4滑阀真空泵760~5×10-3油增压泵10-1~10-4罗茨真空泵10-1~10-4油扩散泵10-3~5×10-7水环真空泵760~25真空泵工作范围(托)往复真空泵760~10-2吸附泵760~10-4溅射离子泵10-4~10-10钛升华泵10-3~10-10分子泵10-3~10-10低温泵10-3~10-10。...